製品紹介

吸着ステージ(バキュームチャック)

ダイボンディング時にウエハーを吸着するステージです。(バキュームチャック)
カスタムオーダーで様々な材質、形状、パターンの対応が可能です。

吸着ステージ(バキュームチャック)

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多孔質吸着ステージ(ポーラスチャック)

ピックアップ時に近隣チップの浮きや回りの問題を解消する多孔質吸着ステージ(ポーラスチャック)を推奨します。

多孔質吸着ステージはチップ吸着ミスによる装置の稼働率低下やボンディングミスによる不良率を低減出来ます。
また、ウエハー吸着時における、メッキ剥離により異物混入(メッキカス)も解消されます。
ダイボンディング時の不良率低減には多孔質吸着ステージをご使用下さい。

【特徴】
・ウエハーシート(チップ)を全面均一に吸着が可能
・ウエハーシートのたわみ解消
・チップの浮き、回りの解消
・チップ吸着ミスによる不良率の低減
・テープやシートなど薄物の均一吸着が可能
・メッキ剥離による異物混入防止
・ニードル突き上げ量の一定化
・稼働率の向上

多孔質材(ポーラス)とは?
多孔質材とは小さい気孔が無数に空いている金属です。
多孔質としての様々な特徴と金属としての特性を併せ持つ材料です。
(簡単に説明するとスポンジやアスファルトなどの金属版です。)

多孔質吸着ステージ(ポーラスチャック)

多孔質部拡大

多孔質部拡大

多孔質材(ポーラス)の種類

公称ろ過精度で区分され、
2μm、5μm、10μm、20μm、40μm、70μm、100μm、120μm
の8種類からお選びいただけます。

【黒色多孔質吸着ステージ】

多孔質部を黒色処理する事に成功しました。
カメラ認識での問題もクリアーとなり安心してご使用いただけます。

黒色多孔質吸着ステージ

黒色多孔質吸着ステージ

黒色多孔質吸着ステージ

標準色黒色

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ヒートコマ

ワーク搭載部に多孔質材を使用する事により、吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能となります。

ヒートコマ

ヒートコマ


ワーク搭載部(16箇所)に多孔質材を使用する事により、吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能となります。

吸着ステージ(バキュームチャック)


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